AOI檢測(cè)(Automatic Optical Inspection)是一種利用光學(xué)成像技術(shù)對(duì)CIS影像芯片進(jìn)行缺陷檢測(cè)的方法。該系統(tǒng)包含一個(gè)主動(dòng)光源,將光照射到CIS影像芯片表面上,透過(guò)光線(xiàn)的反射,被相機(jī)鏡頭收集,形成CIS表面影像。這個(gè)影像可以通過(guò)影像辨識(shí)軟件進(jìn)行分析和處理,自動(dòng)辨識(shí)CIS芯片表面缺陷。 AOI檢測(cè)的優(yōu)點(diǎn)在于,它可以高效、快速地檢測(cè)CIS芯片表面的缺陷,包括瑕疵、污染、顆粒等等。
盡管AOI檢測(cè)在CIS芯片的生產(chǎn)中有著很多優(yōu)點(diǎn),但是它也存在著一些局限性。由于CIS芯片的表面特性和缺陷類(lèi)型多種多樣,而且還受到光照等環(huán)境因素的影響,因此需要針對(duì)不同類(lèi)型的CIS芯片進(jìn)行不同的光學(xué)參數(shù)設(shè)置和算法調(diào)整。同時(shí),需要在整個(gè)生產(chǎn)線(xiàn)上不斷地對(duì)AOI檢測(cè)系統(tǒng)進(jìn)行校準(zhǔn)和維護(hù),以保證檢測(cè)的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。
最重要的一點(diǎn)局限,AOI的檢測(cè)僅限于CIS芯片表面的特征,對(duì)于芯片內(nèi)部的制程參數(shù),例如光轉(zhuǎn)電的過(guò)程中的特性,無(wú)法透過(guò)AOI觀察到,因此AOI無(wú)法提供完整的CIS性能評(píng)估與改進(jìn)參考。