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光焱科技CIS/ALS/光傳感器晶圓測(cè)試儀

簡(jiǎn)要描述:SG-O 是一款 CIS /ALS / Light-Sensor 晶圓測(cè)試儀,它結(jié)合了高度均勻的光源和半自動(dòng)晶圓探測(cè)器。高度均勻光源可以提供從 400nm 到 1700nm 的連續(xù)白光光譜,以及在許多不同波長(zhǎng)下具有一定 FWHM 的單色光輸出。探測(cè)器可以處理。200mm 晶圓尺寸和尺寸大于 1cm x 1cm 的單芯片。SG-O 集成了超低噪音熱卡盤,可提供 -60°C 至 180°C 的溫度范圍

  • 產(chǎn)品型號(hào):SG-O
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-03-25
  • 訪  問  量: 2737

詳細(xì)介紹

品牌Enlitech

特色


高度均勻的光源

可編程自動(dòng)探測(cè)器

寬溫低噪音卡盤

應(yīng)用

  • CIS / ALS / 光傳感器晶圓測(cè)試

  • CIS / ALS / 光傳感器晶圓映射和良率檢查

  • ToF 傳感器測(cè)試

  • 激光雷達(dá)傳感器測(cè)試

  • InGaAs PD 測(cè)試

  • SPAD 傳感器測(cè)試

  • 光傳感器模擬參數(shù)測(cè)試:

    1. 量子效率

    2. 光譜響應(yīng)

    3. 系統(tǒng)增益

    4. 靈敏度

    5. 動(dòng)態(tài)范圍

    6. 暗電流/噪聲

    7. 信噪比

    8. 飽和容量

    9. 線性誤差(LE)

    10. DCNU(暗電流非均勻性)

    11. PRNU(光響應(yīng)非均勻性)

系統(tǒng)設(shè)計(jì)

SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 測(cè)試儀(晶圓級(jí))系統(tǒng)圖。高度均勻的光源由 PC-1 控制。光輸出由光纖引導(dǎo)到光學(xué)均化器以產(chǎn)生均勻的光束。顯微鏡和均質(zhì)器由 PC-1 的自動(dòng)平移臺(tái)控制,以切換位置和功能。Prober 系統(tǒng)為 MPI TS2000,由 PC-2 控制??ūP臺(tái)的位置也由 PC-2 控制。熱卡盤溫度可控制在 -55 ℃ 至180 ℃ ,涵蓋了大部分 IC 測(cè)試溫度范圍。光強(qiáng)度由一個(gè) Si 光電探測(cè)器和一個(gè) InGaAs 光電探測(cè)器通過皮安電流表檢測(cè)和校準(zhǔn)。

規(guī)格

SG-O 為您在 CIS / ALS / 光傳感器晶圓測(cè)試中需要的所有內(nèi)容提供完整的規(guī)范。以下是主要組件及其詳細(xì)信息。如果您需要更多詳細(xì)信息,請(qǐng)隨時(shí)與我們聯(lián)系!

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高度均勻的光源
  1. 10nm FWHM 中心波長(zhǎng):420nm, 450nm, 490nm, 510nm, 550nm, 570nm, 620nm, 670nm, 680nm, 710nm, 780nm, 870nm

  2. 25nm FWHM 中心波長(zhǎng):1010nm, 1250nm, 1450nm

  3. 45±5nm FWHM 中心波長(zhǎng) 815nm

  4. 50nm FWHM 的中心波長(zhǎng):1600nm

  5. 60±5nm FWHM 中心波長(zhǎng):650nm

  6. 70±5nm FWHM 的中心波長(zhǎng):485nm, 555nm

  7. 100±5nm FWHM 的中心波長(zhǎng):1600nm

    • 帶外透光率 ≤ 0.01%

    • 帶通區(qū)峰值傳輸 ≥ 80%

    • 中心波長(zhǎng)容差:(a) ≤ ±2nm;(b)~(g) ≤ ±5nm

    • FWHM 容差:(a) ≤ ±2nm;(b)~(g) ≤ ±5nm

半自動(dòng)晶圓探針

光譜輻照度計(jì)

更多規(guī)格

  SG-O 集成了 Enlitech 的高級(jí)光模擬器技術(shù)和 MPI 自動(dòng)探針系統(tǒng)。Enlitech 提供多種光學(xué)選項(xiàng)以滿足用戶對(duì) CIS / ALS / 光傳感器晶圓測(cè)試的要求,包括波長(zhǎng)范圍、光強(qiáng)度和均勻光束尺寸。我們擁有數(shù)十年的經(jīng)驗(yàn),可以幫助客戶解決 CIS / ALS / 光傳感器晶圓測(cè)試和設(shè)計(jì)變化的挑戰(zhàn)。請(qǐng)隨時(shí)與我們聯(lián)系以獲取更多詳細(xì)信息。我們的專業(yè)團(tuán)隊(duì)將為您提供幫助!


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主要表現(xiàn)

SG-O 系統(tǒng)的操作軟件。對(duì)于高度均勻光源控制軟件,SG-O 提供光源系統(tǒng)控制和光強(qiáng)測(cè)量。提供了各個(gè)光學(xué)組件的 Labview 功能調(diào)色板、驅(qū)動(dòng)程序 / DLL 文件。該軟件控制所述平移臺(tái)以促進(jìn)照射大是在零件的設(shè)備。集成鏈接的整合包括發(fā)送 / 接收命令,例如芯片步進(jìn)、芯片對(duì)齊 / 探測(cè)等。

來自 SG-O 顯微鏡系統(tǒng)的  CIS / ALS / 光傳感器芯片圖像

SG-O-CIS-wafer-level-tester-23_-wafer-and-probe-card-install.jpg
SG-O-CIS-wafer-level-tester-23_-wafer-and-probe-card.jpg


CIS / ALS / Light-Sensor 晶圓的探針卡安裝圖

用于 CIS / ALS / 光傳感器晶圓檢測(cè)的探針頭圖像


SG-O CIS 晶圓級(jí)測(cè)試儀的光均化器

SG-O CIS 晶圓級(jí)測(cè)試儀光均化器的光學(xué)模擬和性能

光束均勻度,在 420nm 下用 42mm x 25mm 測(cè)試光束點(diǎn)均勻性,不均勻度為 1% 圖示

光束均勻度,束斑尺寸為 50mm x 50mm,不均勻性為 1.43% 圖示

不同波長(zhǎng)的單色光強(qiáng)度,從紫外到近紅外;光強(qiáng)度由Si輻照度計(jì)測(cè)量,光強(qiáng)度范圍能夠用于各種 CIS / ALS / 光傳感器測(cè)試圖示

從 NIR 到 SWIR 不同波長(zhǎng)的單色光強(qiáng)度,光強(qiáng)度由 InGaAs 輻照度計(jì)測(cè)量圖示

SG-O 的高度均勻光源具有一個(gè)超穩(wěn)定的光引擎,在整個(gè)波長(zhǎng)范圍內(nèi),短期或長(zhǎng)期的光強(qiáng)不穩(wěn)定性均優(yōu)于 0.2%。

圖示在 420nm 單色光輸出下測(cè)試光強(qiáng)度短期不穩(wěn)定性,光不穩(wěn)定性由 Si 輻照度計(jì)監(jiān)測(cè) 60 分鐘,1 小時(shí)的不穩(wěn)定性為 0.12%

圖示在 1250nm 單色光輸出下測(cè)試光強(qiáng)短期不穩(wěn)定性, 光不穩(wěn)定性由 SInGaAs 輻照度計(jì)監(jiān)測(cè) 60 分鐘,1 小時(shí)的不穩(wěn)定性為 0.09%

在 420nm 單色光輸出下測(cè)試光強(qiáng)度短期不穩(wěn)定性,光不穩(wěn)定性由 Si 輻照度計(jì)監(jiān)測(cè) 10 小時(shí),10 小時(shí)的不穩(wěn)定性為 0.1% 圖示

在 1250nm 單色光輸出下測(cè)試光強(qiáng)短期不穩(wěn)定性,光不穩(wěn)定性由 SInGaAs 輻照度計(jì)監(jiān)測(cè) 10 小時(shí),10 小時(shí)不穩(wěn)定性為 0.06% 圖示


圖示為 SG-O 系統(tǒng)的光強(qiáng)衰減器,光輸出強(qiáng)度可以通過 PC 至少 1000 步分辨率來控制

自動(dòng)探測(cè)器的情況說明書,SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 晶圓測(cè)試儀集成了 MPI 探針,更多細(xì)節(jié)可以在 MPI 的網(wǎng)站上找到

數(shù)據(jù)源: MPI


SG-O 探針系統(tǒng)中內(nèi)置了自動(dòng)單芯片裝載機(jī)。便于CIS / ALS / Light-Sensor 晶圓裝載。裝載和卸除晶圓對(duì)用戶來說是直接和直觀的。上料室前部還集成了溫度控制面板,方便操作。

SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 晶圓測(cè)試儀還具有手動(dòng)加載功能,可以從前門手動(dòng)加載晶圓。該前門具有安全管理功能,可自動(dòng)監(jiān)測(cè)卡盤溫度并防止在測(cè)試過程中打開門,以保護(hù) CIS / ALS / Light-Sensor 晶圓和用戶的安全。

SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 晶圓測(cè)試儀的熱卡盤由 ERS 最小化的 CDA 系統(tǒng)控制溫度,比以前效率更高。溫度范圍可覆蓋 -80°C 至 180°C(取決于 ERA’a型號(hào))。通過使用單獨(dú)的閥門可以進(jìn)行氮?dú)獯祾摺?duì)于 CIS / ALS / 光傳感器晶圓測(cè)試,目標(biāo)溫度上升速率和穩(wěn)定性非常出色,可在任何







條件下(例如空間)進(jìn)行。


探針卡尺寸能力可以從 4.5 英寸到 8 英寸長(zhǎng),如圖所示 DUT 與 SG-O 高均勻光源最后一個(gè)光學(xué)組件的工作距離超過 200mm

探針卡尺寸能力可以從 4.5 英寸到 8 英寸長(zhǎng),如圖所示 DUT 與 SG-O 高均勻光源最后一個(gè)光學(xué)組件的工作距離超過 200mm




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